等離子表面清洗機(jī)經(jīng)常會(huì)應(yīng)用諸多不同的氣體，如通常會(huì)應(yīng)用氧氣、氫氣、氮和壓縮空氣等，洛陽(yáng)氣體也可能根據(jù)工藝要求使用氬氣。那么為啥要使用這種氣體，以及它在等離子清洗機(jī)設(shè)備中的作用是什么？

氬氣是一種惰性氣體，經(jīng)過(guò)電離之后的等離子體不會(huì)與基體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。在等離子體清洗中，氬氣主要是利用于與基體表面的物理清洗及表面粗化。所以氬氣等離子清洗機(jī)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、微電子行業(yè)及晶圓制造行業(yè)等。

一、表面清潔

在晶圓、玻璃等產(chǎn)品表面顆粒的清除過(guò)程中，通常會(huì)采用等離子體對(duì)材料表面的顆粒進(jìn)行轟擊，加以實(shí)現(xiàn)對(duì)顆粒的分散和松動(dòng)處理，然后再進(jìn)行離心清洗等處理工藝，會(huì)有著顯著的效果。在半導(dǎo)體封裝應(yīng)用中尤為突出，在經(jīng)過(guò)打線(xiàn)工藝后為防止導(dǎo)線(xiàn)氧化，需采用氬等離子體或氬氫等離子對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行等離子清洗，實(shí)現(xiàn)更好的產(chǎn)品處理效果。

二、表面粗化

等離子清洗機(jī)的表面粗化處理也稱(chēng)為表面刻蝕處理，其主要目的是提升材料的表面粗糙度，進(jìn)而增強(qiáng)材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性氣體經(jīng)處理后也可提升產(chǎn)品表面張力，但氬離子化產(chǎn)生的顆粒要更重，在電場(chǎng)的作用下氬離子的動(dòng)能較高于其他活性氣體，所以其粗化效果更號(hào)。氬氣在無(wú)機(jī)物表面粗化的過(guò)程中應(yīng)用較為廣泛，如玻璃基材的表面處理、金屬基材的表面處理等。

三、氬氣

在等離子清洗機(jī)的表面活化及清洗中，混合氣體相對(duì)來(lái)說(shuō)能夠取得更好的處理效果，較常見(jiàn)的是氬和氧的混合物。且由于氬的分子量大，電離后產(chǎn)生的顆粒比較重，在電場(chǎng)的作用下氬離子的動(dòng)能高于其他活性氣體，其效果更顯著。